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產(chǎn)品與服務(wù)

致力于研究開發(fā)氟化工新材料、新產(chǎn)品、新工藝、新技術(shù)

含氟電子氣體生產(chǎn)裝置

  • 氟氣與非金屬或某些金屬元素反應(yīng)生成的全氟化合物氣體材料，提純后可用于半導(dǎo)體行業(yè)的蝕刻、摻雜、清洗等工藝，是一類重要的電子氣體材料，在半導(dǎo)體加工中發(fā)揮極其重要的作用。主要包括：F?/N?、NF?、SF?、WF?、PF?、PF?、CF?、C?F?、C?F?、MoF? ...。
  • 我公司具備大部分含氟電子氣體的制備技術(shù)，可以承攬這些電子氣體生產(chǎn)裝置從設(shè)計、加工到安裝、調(diào)試全流程工程項目。

我公司可為用戶提供各種規(guī)模生產(chǎn)裝置從設(shè)計到安裝、試車的全套工程技術(shù)服務(wù)。

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